青島凈化工程控制溫濕度的具體措施潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)客戶的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，*選應(yīng)該考慮人的舒適感。

產(chǎn)品型號(hào)：HZD

更新時(shí)間：2025-12-03

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青島凈化工程控制溫濕度的具體措施

潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)客戶的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，*選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差*要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，*別是*鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。青島凈化工程控制溫濕度的具體措施

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。凈化工程要控制溫濕度具體有什么措施？

然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

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